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2021-06-21







質(zhì)量流量控制器概述

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熱式質(zhì)量流量控制器，利用氣流流過(guò)毛細管，改變毛細管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測得氣體質(zhì)量流量。不同于容積式流量計，其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實(shí)時(shí)反應氣流瞬時(shí)流量， 所以特別適用于過(guò)程控制中的氣體流量的精密測量和控制。



質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

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使用范圍： 質(zhì)量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。

特點(diǎn)：流量精度高、線(xiàn)性好、零漂小、氣流響應速度快、過(guò)沖小。



流量控制器的工作原理

流量控制器（流量計）利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成，即熱分布式流量計（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號放大去驅動(dòng)控制調節閥門(mén)。通過(guò)實(shí)時(shí)的流量檢測閉環(huán)，去控制流過(guò)通道的流量使之與設定的流量相等。

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